性能出色
的螺桿設(shè)計,鐘形懸臂結(jié)構(gòu),榮獲利的自平衡螺桿,出色的運行品質(zhì),集成羅茨泵,非常適用于 load lock 腔和傳送腔、計量、平版印刷術(shù)、物理氣相沉積以及快速熱退火等應(yīng)用
高效
擁有成本低,維護少,保養(yǎng)間隔長,正常運行時間長,直接水冷卻
結(jié)構(gòu)緊湊
密閉式設(shè)計,直聯(lián)的罐裝電機
TECHNICAL DATA | COBRA BC 0600 F |
---|---|
額定抽速 | 520 m3/h |
極限壓力 | 0.003 hPa (mbar) |
前級泵電機額定功率 | 1.5 kW |
羅茨真空泵電機額定功率 | 4.0 kW |
功耗(怠速模式) | 1.1 kW |
極限壓力時的功耗 | 2.1 kW |
前級泵電機額定轉(zhuǎn)速 | 3000 min?1 |
羅茨真空泵電機額定轉(zhuǎn)速 | 3000 min?1 |
噪聲級(ISO 2151) | 62 dB(A) |
耗水量 | 3.0 l/min |
氮氣消耗量 | 0 – 50 l/min |
重量(約) | 315 kg |
尺寸(L x W x H) | 933 x 354 x 694 mm |
進氣口 | DN 63 ISO–K |
排氣口 | DN 40 ISO–KF |
Busch電機7AA90S 04B14
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Busch真空泵油過濾器0531000002
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Busch真空泵R5A0040E
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Busch真空泵SV1025C
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Busch真空泵RA0302 D 561 CUXX NO.C1126000551
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BUSCH油過濾器531000001